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Design and Optimization of a Stationary Electrode in a Vertically-Driven MEMS Inertial Switch for Extending Contact Duration

机译：用于延长接触持续时间的垂直驱动mEms惯性开关中固定电极的设计与优化

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Qiu Xu; Zhuo-Qing Yang; Bo Fu; Yan-Ping Bao; Hao Wu; Yun-Na Sun; Meng-Yuan Zhao; Jian Li; Gui-Fu Ding; Xiao-Lin Zhao;
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年度 2017
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